大型设备介绍

振动样品磁强计

型号：VSM-130 （长春英谱）

安置地点：105

负责人：杨辅军

单价：278000元

购置日期：2009年2月1日

仪器简介：

可测量磁性材料的基本磁性能（如磁化曲线，磁滞回线，退磁曲线，热磁曲线等），得到相应的各种磁学参数（如饱和磁化强度，剩余磁化强度，矫顽力，最大磁能积，居里温度，磁导率（包括初始磁导率）等，可测量粉末、颗粒、薄膜、液体、块状等磁性材料。VSM振动磁强计可原位测量磁性材料从液氮温区至400 K或室温至500 ^oC温区的磁性能随温度的变化曲线。

阻抗分析仪

型号：英国WK6500B

安置地点：101

负责人：王瑞龙

单价：134000元

购置日期：2010年11月1日

仪器简介：

是英国Wayne Kerr研发生产的一款精密阻抗分析仪，具有高频阻抗量测功能，频率范围20Hz---120MHz。测量参数包括：阻抗（Z）、电阻（Rdc）、电容（C）、电感（L）、消耗因素（D）、品质因素（Q）、电纳（B）、电导（G）、电抗（X）、导纳（Y）、相位角

火花机计

型号：HEALTH 450

安置地点：105

负责人：汪宝元

单价：74000元

购置日期：2014年5月14日

仪器简介：

用于加工具有复杂形状的型孔和型腔的模具和零件；加工各种导电材料，如硬质合金和淬火钢等；加工深细孔、异形孔、深槽、窄缝和切割薄片等；加工各种成形刀具、样板和螺纹环规等工具。

X射线荧光光谱仪

型号：RF-1800型（Shimadzu）安置地点：107，

负责人：刘春雷

单价：1224000元

购置日期：2005年9月1日

仪器简介：

可进行固体、粉末、液体等多种样品的定性分析和无需工作曲线的FP法定量分析。在成熟的硬件上又增加了新开发的利用高次线进行的定性定量法、250µm给图功能等，进一步提高了可靠性，充实了应用。

高低温环境实验箱

型号：SETH-E-0212，

安置地点：107

负责人：郭鹏

仪器简介：

用于电子元器件老化等性能测试，可实现温度、湿度等不同环境的控制。温度范围：-50~200℃，湿度控制范围：70%~95%

场发射扫描电子显微镜

型号：JEOL JSM7100F，

安置地点：物电学院107

负责人：郭鹏，刘春雷

仪器简介：

用于观察样品的表面形貌，以及利用EDS进行样品成分及含量的分析。有二次电子像及背散射电子像两种成像模式。采用浸没式热场电子枪。加速电压：0.2kV ~ 30kV。放大倍数：×10 ~ ×1,000,000 

扫描探针显微镜

型号：NT-MDT NTEGRA Spectra C

安置地点：107

负责人：刘春雷

仪器简介：

可以观测样品的光学性质、化学性能、电学性质、力学性质和磁学性质。工作模式：原子力显微镜（力学、电学、磁性质等，纳米操作等多大40种功能） 扫描近场光学显微镜（透射、反射、收集、荧光） 激光共聚焦显微镜、共聚焦拉曼成像、荧光成像、光学成像 针尖增强拉曼散射-TERS（正置+倒置）扫描近场光学显微镜 ( SNOM / NSOM )

X射线衍射仪

型号：D8，德国布鲁克，

安置地点：108

负责人：刘向，汪宝元

仪器简介：

配小角测角仪，仪器采用当前最先进的技术，能够精确地对金属和非金属多晶样品进行物相定性、定量分析，薄膜材料的物相分析。

比 表面及空隙度分析仪

型号：Micromeritics ASAP 2020，

安置地点：108

负责人：刘春雷

单价：292000元

购置日期：2015年11月17日

仪器简介：

仪器可进行单点、多点BET比表面积、Langmuir比表面积、BJH介孔、孔分布、孔大小及总孔体积和面积、密度函数理论（DFT）、吸附热及平均孔大小等的多种数据分析。可同时进行一个样品的分析和两个样品的预处理。仪器的工作原理为等温物理吸附的静态容量法。分析气体包括N₂、O₂、Ar、Kr、CO₂、CH₄等非腐蚀性气体。

振动样品磁强计

型号：HH-15 （南京大学）

安置地点：108

负责人：汪汉斌

仪器简介：

可测量磁性材料的基本磁性能（如磁化曲线，磁滞回线，退磁曲线，热磁曲线等），得到相应的各种磁学参数（如饱和磁化强度，剩余磁化强度，矫顽力，最大磁能积，居里温度，磁导率（包括初始磁导率）等，可测量粉末、颗粒、薄膜、液体、块状等磁性材料。

比 气相色谱仪

型号：岛津GC-2018，

安置地点：106

负责人：王喜娜

单价：86000元

购置日期：2014年11月10日

仪器简介：

定量和定性分析外，还能测定样品在固定相上的分配系数、活度系数、分子量和瑞盛比表面积等物理化学常数。一种对混合气体中各组成分进行分析检测的仪器。岛津GC  Smart是适用于常规检测需求的创新型高稳定、高通量分析的新一代气相色谱仪。GC Smart配备了AFM（先进的流量监控）和APM（先进的压力监控），只需调节气路旋钮，即可轻松得到各项气体参数。

CVD高温管式炉

型号：CVD（G）-06/50/2

安置地点：物电210

负责人：郭鹏

仪器简介：

用于中、高温CVD工艺。如ZnO纳米结构的可控生长、陶瓷电容器（MLCC）气氛烧结等等。 窑炉采用氧化铝纤维制品隔热、保温，硅碳棒加热，优质刚玉管炉膛, 系统可预抽真空。进口单回路智能温度控制仪控制.设备具有温度均匀、控制稳定、温区间温度扰动小、升温速度快、节能、温度高、寿命长等特点。

激光脉冲沉积系统

型号：德国COMPex201

安置地点：物电212

负责人：郭鹏

单价：994810元

购置日期：2004年12月1日

功能介绍：本设备可在基片上沉积与蒸发材料成分比例几乎相同的薄膜，可制备高温超导薄膜、多元素、复杂层状结构的各种氧化物薄膜。激光波长248nm，激光器有恒压与恒能两种工作模式，激光功率0～400mJ连续可调。沉积系统的极限真空6.67×10^-5Pa，样品加热温度最高800℃，样品到靶台距离可调：30～100mm，样品和靶台都可自转，转速5～60转/分。

比红外后对准双面光刻机

型号：ABM16/350/NUV

安置地点： 213

负责人：熊娟

仪器简介：

用于电子元器件的单、双面对准及曝光工艺，采用350W近紫外汞灯光源，可实现最小线宽为1.0μm线条的曝光。正面对准精度<3μm，红外后对准精度<5μm。 曝光时间调解器：0.1至999.9秒(可调节精度0.1s)。正面对准精度±0.5um

支持正胶、负胶及Su8胶等的厚胶光刻。支持LED优异电流控制技术PSS工艺光刻；支持真空、接近式、接触式曝光；

支持恒定光强或恒定功率模式。

超真空磁控溅射仪

型号：JGP560C12 （中科院沈阳科学仪器）安置地点：210

负责人：熊娟

购买价格：450000元

购置日期：2004年08月1日

仪器简介：

由溅射靶、直流及射频电源、加热控制系统、真空控制系统和冷却系统组成。溅射靶在下、基片在上，采用多靶立式溅射方式由下而上溅射成膜。采用微机控制系统分别控制样品转盘和靶挡板，可以制备单层膜或多层膜。

电池测试系统

型号：BTS40V20AC2-T （中科院沈阳科学仪器）

安置地点：211

负责人：王瑞龙

仪器简介：

电流，电压，充放电容量，电池循环寿命，充放电电压平台，平台容量，平台时间，平台效率，充放电曲线，直流内阻，交流内阻，放电容量衰减率，电池自放电等。测试对象：动力电池，储能电池，超级电容；电池性能测试：功率，能量，容量，过冲，过放；

全自动物理/化学吸附分析仪

型号：Autosorb-iQ

安置地点：211

负责人：徐玲芳

仪器简介：

全自动运行，能进行真空体积测定，气体物理和化学吸附测定的系统，能在测定一个样品的同时，独立地对另外两个样品进行脱气操作。该系统可以用于全面地测定具有微孔的物质（如沸石，活性炭等）的特性。该系统产生所需要的吸附和脱附数据，用于确定并给出所有的表面积和以及等温线、BET比表面积、BJH孔径分布、Dollimore-Heal孔径分布、Dubinin-Radushkevich 微孔面积。该系统能为化学吸附做就地的样品准备，并自动进行化学吸附测定，表达样品的催化特性。

多靶磁控溅射镀膜机

型号：JS-400C （北京泰科诺科技）

安置地点：211

负责人：徐玲芳

单价：215010元

购置日期：2015年2月11日

仪器简介：

用来开发纳米级单层及多层的导电膜（含铁、钴、镍磁性材料）、半导体材料以及绝缘材料等。配多靶,可实现单靶独立、多靶轮流或组合共溅。可制备单层膜、多层膜或复合膜。

无液氦强磁场低温测试系统

型号：CF-9

安置地点：211

负责人：王瑞龙

单价：855000元

购置日期：2015年12月3日

仪器简介：

超导强磁场：9T，磁场均匀区：ϕ 10*15 mm，均匀度优于0.1%，变温范围：1.9k-325K，温度稳定性：±0.2K。样品的测试采用Keithley和Stanford的测量仪表，保证了测试的准确性和精度。有多种测试可供选择，如低阻（10  mohm）或高阻（1Tohm）的电输运测试系统，VSM测试系统，ACMS交流磁化率测试系统。

多功能磁控溅射仪

型号：日本真空  ACS-4000-C4

安置地点：3楼超净室

负责人：刘春雷

单价：1235000元

购置日期：2007年5月1日

仪器简介：

仪器由两个真腔室：一个成膜室和一个准备室，四个靶位，其中两个直流，两个射频。可以实现共溅射。自动的工艺过程用计算机来控制（排气、基片旋转、成膜）, 成膜室压强< 6.7 × 10-6 Pa、准备室压强: < 6.7 × 10-4 Pa。

本设备是制备金属和非金属薄膜的基本仪器。

傅傅立叶变换红外光谱仪

型号：IRprestige-21 (Shimadzu)

安置地点：3楼超净室

负责人：汪宝元

仪器简介：

有强大的定性和定量分析功能，能实现常量样品的分析。采用空冷式新型高辉度陶瓷光源，结构简单，性能稳定且使用寿命长。光学系统采用镀金反射镜等精度光学元件，实现能量的高效率利用。新型高灵敏度的DLATGS检测器，保证了FTIR分析的超高灵敏度和良好稳定性。

傅单色光电转换效率测试系统

型号：QE/IPCE (Newport)

安置地点：3楼超净室

负责人：汪宝元

仪器简介：

测量太阳能电池量子效率(QE) 和光电转化效率(IPCE) （波长范围350 – 1100 nm）， 即入射到太阳能电池表面的光子数与太阳能电池产生的电荷载流子数的比率。组件：300 W 氙灯光源， CS260 型单色仪， Merlin 锁相放大器、斩波器和硅探测器，光学元件与光学机械组件，白光偏置式前置放大器（70714 型）， 自动滤镜转轮和分阶选择滤镜。

太阳能电池电流-电压测试系统

型号：Newportoriel 模拟太阳光源，Keithly 2400 数据源表，

安置地点：3楼超净室

负责人：汪宝元

仪器简介：

1）  测量光照条件和暗条件下的IV曲线

2）  测量开路电压Voc，短路电流密度Jsc，填充因子FF，光电转换效率

台式小型透射电镜

型号：delong

安置地点：3楼超净室。

负责人：刘春雷

单价：1098300元

购置日期：2015年12月7日

仪器简介：

观察样品形貌，放大倍率：70万倍，加速电压：5KV， 分辨率：1.2 nm，电子枪类型：场发射

紫外可见近红外分光光度计

型号：岛津UV3600，配MPC-3100型大样品室。

安置地点：3楼超净室

负责人：汪宝元

单价：209777元

购置日期：2010年11月1日

仪器简介：

各种材料（粉体，液体，薄膜）的紫外吸收光谱，透射光谱，反射光谱。物质的鉴定和结构的分析，无机及有机化合物的定性和定量分析

气敏元件测试仪

型号：WS-60A

安置地点：907

负责人：郭鹏

仪器简介：

主要用于实验或批量生产中对气敏元件特性进行测试，一次能同时对30或64支气敏元件进行测试。通过对测试数据的处理，能以图形曲线和数据两种方式显示气敏元件的特性，可显示气敏元件负载输出电压；能计算元件电阻值、电压灵敏度和电阻灵敏度；能计算元件的响应时间、恢复时间等。

可控调制光电化学谱仪

型号：德国Zahner CIMPS-2

安置地点：909.

负责人：李跃斌

单价：690000元

购置日期：2014年9月20日

仪器简介：

可做交流阻抗分析，循环伏安测试，塔夫尔曲线测试，静电位、静电流、极化，肖特基测试，光电转化效率测试，电化学测试。主要用于电学性能测试，光电转换效率测试

惰性气体系统-手套箱

型号：Labstar  （ECO）1800x780

安置地点：909

负责人：郭鹏

仪器简介：

将高纯惰性气体充入箱体内，并循环过滤掉其中的活性物质的实验室设备。对O₂，H₂O，有机气体的清除。广泛应用于无水、无氧、无尘的超纯环境，如：锂离子电池及材料、半导体、超级电容、特种灯、激光焊接、钎焊、材料合成、OLED、MOCVD等。也包括生物方面应用，如厌氧菌培养、细胞低氧培养等。

光解水制氢系统

型号：Shimadzu GC Smart

安置地点：909

负责人：郭鹏

仪器简介：

定量和定性分析外，还能测定样品在固定相上的分配系数、活度系数、分子量和瑞盛比表面积等物理化学常数。一种对混合气体中各组成分进行分析检测的仪器。岛津GC  Smart是适用于常规检测需求的创新型高稳定、高通量分析的新一代气相色谱仪。GC Smart配备了AFM（先进的流量监控）和APM（先进的压力监控），只需调节气路旋钮，即可轻松得到各项气体参数。

网络分析仪配探针台

型号： E5071C （Agilent公司）

安置地点：907

负责人：熊娟

单价：500000元

购置日期：2014年9月30日

仪器简介：

E5071C型网络分析仪具有同类产品中最高的射频性能和最快的速度，并具有宽频率范围和全面的功能。它是制造和研发工程师们测试频率范围在 20 GHz 以内的射频元器件和电路的理想解决方案。配探针台能进行微小器件的测量。

探针台

型号： EPS150RF  (美国Cascade公司)

安置地点：907

负责人：熊娟

单价：820000元

购置日期：2014年10月23日

仪器简介：

该探针台是用于射频芯片/电路测试平台，配置包含探针台主机，6英寸chuck，4路射频探针，辅助显微镜，温控模块，射频校准片，校准软件等。射频可测试带宽40 GHz以下，探针类型GSG探针间距100微米和150微米，温控从常温到300摄氏度。探针台提供200微米微台功能，高精度的探针控制位移精度（100TPI）。

探针式台阶仪

型号：KLA Tencor D-120

安置地点：907

负责人：郭鹏

仪器简介：

可精确测量纳米级至2毫米台阶高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力Alpha-Step IQ采用天然金刚石作为探头，经久耐用。探针更换简便、快速，软件具有保护测针以免发生损坏功能；

半导体参数分析仪

型号：Agilent  B1500A

安置地点：1002

负责人：叶葱

单价：434717.43元

购置日期：2013年2月26日

仪器简介：

直流IV测量 最大输送电压：± 100V；最大输送电流： ± 100mA；电压测量分辨率：0.5μV；电流测量分辨率：10 fA。脉冲IV测量 波形时间分辨率: 10 ns；最小脉冲宽度:100 ns 。  CV测试 准静态CV（QSCV）和多频率CV（MFCV）两种测量。频率范围：1KHz-5MHz；偏置电压: ±100V；分辨率1mV。阻变式存储器件，薄膜晶体管等半导体器件IV特性测试。

Agilent 4294A

型号：Agilent  4294A

安置地点：1002

负责人：叶葱

仪器简介：

阻抗测量，频率范围40 Hz to 110 MHz

测量参数 |Z| ,|Y|，θ，R,X, G ,B ，Cp, Cs ,Lp ,Ls ,Rp ,Rs,D ,Q。 直流偏置 0 to ±40V/100mA。支持SMD/芯片测试夹具，轴向和径向测试夹具。 MOS C-V特性测试，MOS结构电压电容测试（C-V） 阻抗测量。

气相色谱仪

型号：GC-7900

安置地点：1002

负责人：彭小牛

仪器简介：

定量和定性分析外，还能测定样品在固定相上的分配系数、活度系数、分子量和瑞盛比表面积等物理化学常数。一种对混合气体中各组成分进行分析检测的仪器。

蒸发镀膜机

型号：JSD-300

安置地点：1002

负责人：周海

单价：153000元

购置日期：2014年12月9日

仪器简介：

用于真空蒸发镀光学薄膜、低熔点金属和合金薄膜等，常用于制备器件中的金属薄膜电极。设备由真空室、真空机组和电气系统组成。

单面双工位手套箱

型号：DELLIX  UN800S

安置地点：1002

负责人：刘春雷

单价：147500元

购置日期：2014年12月09日

仪器简介：

将高纯惰性气体充入箱体内，并循环过滤掉其中的活性物质的实验室设备。对O₂，H₂O，有机气体的清除。广泛应用于无水、无氧、无尘的超纯环境，如：锂离子电池及材料、半导体、超级电容、特种灯、激光焊接、钎焊、材料合成、OLED、MOCVD等。也包括生物方面应用，如厌氧菌培养、细胞低氧培养等。

惰性气体系统-手套箱

型号：MB-Labstar  （ECO）1800x780

安置地点：1002

负责人：刘春雷

单价：222500元

购置日期：2014年12月4日

仪器简介：

将高纯惰性气体充入箱体内，并循环过滤掉其中的活性物质的实验室设备。对O₂，H₂O，有机气体的清除。广泛应用于无水、无氧、无尘的超纯环境，如：锂离子电池及材料、半导体、超级电容、特种灯、激光焊接、钎焊、材料合成、OLED、MOCVD等。也包括生物方面应用，如厌氧菌培养、细胞低氧培养等。

多功能激光加工机

型号：HYM-500

安置地点：1404

负责人：汪宝元

单价：171000

购置日期：2015年12月30日

仪器简介：

激光打孔用机床简单又通用的形式为三维机床。两维运动在水平面，以X、Y表示，两坐标轴相互垂直，第三维Z轴与Z-Y平面垂直。每一维可通过步进电机带动滚珠丝杠在直线滚珠导轨上运行，在管材或桶形材料进行系列孔的加工时，加上360度的旋转台完成所有的打孔任务

电化学工作站

型号：Gamry  3000

安置地点：1404

负责人：汪宝元

单价：192000元

购置日期：2015年12月2日

仪器简介：Reference 3000 电化学工作站是一款功能齐全，输出电流可达3安培的研究级别的高性能电化学工作站。Reference3000可以用于电池，电容，燃料电池的研究。Reference可以从事从皮安到安培级别的研究。Reference 3000秉承了Gamry公司的特点在弱小电流检测方面有着出色的表现。

Reference 3000 可以使用Gamry所有的电化学软件进行电化学领域的研究：• 合成化学• 传感器的研发• 动力学，热力学研究• 电化学阻抗• 腐蚀• 涂层• 电分析